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LR90

愛發(fā)科LR90是一款羅茨干式真空泵，由日本愛發(fā)科（ULVAC）公司生產(chǎn)。

  • 高效節(jié)能：通過優(yōu)化螺桿形狀和采用ECO-SHOCK技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了高速排氣與低功耗的平衡，在極限壓力下的功耗可降至0.6kW或更低。

  • 耐腐蝕性強(qiáng)：主要部件經(jīng)過特殊涂層和表面處理，能夠有效抵抗腐蝕性氣體的侵蝕，適用于復(fù)雜工藝環(huán)境。

  • 低噪音運(yùn)行：內(nèi)置消音器，噪音水平可控制在61dB（A）或以下，運(yùn)行平穩(wěn)，振動(dòng)小。

  • 全壓力范圍運(yùn)行：可在從大氣壓到極限壓力的全壓力范圍內(nèi)連續(xù)運(yùn)行，滿足不同工藝需求。

  • 排粉性能好：采用特殊設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸，適用于有粉末產(chǎn)生的工藝，如半導(dǎo)體制造中的蝕刻、灰化等。

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